Spiegelsystem, Verfahren zum Betreiben eines Spiegelsystems und Projektionslinse einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2025002739 Art A1 2. Januar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025002739
Aktenzeichen: EP24732178
Anmeldetag: 5. Juni 2024
Veröffentlichung: 2. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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