Trägerplatte und Werkzeug zur Heterogenen Integration von Matrizen mit Unterschiedlicher Grösse

WO2025011842 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025011842
Aktenzeichen
EP24731362
Anmeldetag
10. Juni 2024
Veröffentlichung
16. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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