Aktuierbare Spiegel-Baugruppe

WO2025012094 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025012094
Aktenzeichen: EP24740119
Anmeldetag: 4. Juli 2024
Veröffentlichung: 16. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B26/08G02B26/10B81B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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