Mehrstationen-Verarbeitungswerkzeug mit Vorläuferverteilungssystem

WO2025015048 Art A1 16. Januar 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025015048
Aktenzeichen: EP24840476
Anmeldetag: 10. Juli 2024
Veröffentlichung: 16. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von