Optische Anordnung für eine Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung, Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2025021415 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025021415
Aktenzeichen: EP24736804
Anmeldetag: 26. Juni 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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