Masken-3D (M3D)-Modellierung zur Lithografiesimulation

WO2025021417 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025021417
Aktenzeichen: EP24737439
Anmeldetag: 26. Juni 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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