3D-Tomographie mit Reduzierten Driftfehlern

WO2025021642 Art A1 30. Januar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025021642
Aktenzeichen
EP24746284
Anmeldetag
18. Juli 2024
Veröffentlichung
30. Januar 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/225G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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