Hebestiftanordnung zum Laden/entladen eines Substrats, Objekttisch, Lithografische Vorrichtung

WO2025026649 Art A1 6. Februar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025026649
Aktenzeichen: EP24738320
Anmeldetag: 4. Juli 2024
Veröffentlichung: 6. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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