Substratverarbeitungsvorrichtung

WO2025027961 Art A1 6. Februar 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025027961
Aktenzeichen: EP24848622
Anmeldetag: 30. April 2024
Veröffentlichung: 6. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3063C25F3/12C25F3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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