Substratverarbeitungsvorrichtung und Informationsverarbeitungsverfahren für die Substratverarbeitungsvorrichtung

WO2025028002 Art A1 6. Februar 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025028002
Aktenzeichen: EP24848663
Anmeldetag: 31. Mai 2024
Veröffentlichung: 6. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/70H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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