Neigungsmessung in Partikelmikroskopsystemen
WO2025031787
Art A1
13. Februar 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025031787
- Aktenzeichen
- EP24748058
- Anmeldetag
- 23. Juli 2024
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/22H01J37/26H01J37/28H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen