Bildverzerrungskorrektur für Prozessmodellbasierte Rasterelektronenmikroskopie (sem)

WO2025036631 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025036631
Aktenzeichen: EP24743765
Anmeldetag: 11. Juli 2024
Veröffentlichung: 20. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06T7/33G06T5/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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