Systeme und Verfahren zur Hybriden Abtastplanerzeugung und Genauen Chipverlustprojektion

WO2025036991 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025036991
Aktenzeichen: EP24758730
Anmeldetag: 15. August 2024
Veröffentlichung: 20. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G05B19/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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