Überwachungsverfahren in einer Substratverarbeitungsvorrichtung

WO2025037463 Art A1 20. Februar 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025037463
Aktenzeichen: EP24854054
Anmeldetag: 20. Mai 2024
Veröffentlichung: 20. Februar 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B23/02H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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