Optik zur In-Situ-Rasterelektronenmikroskopreparatur
WO2025058860
Art A1
20. März 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025058860
- Aktenzeichen
- EP24866066
- Anmeldetag
- 29. August 2024
- Veröffentlichung
- 20. März 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/04H01J37/10H01J37/28H01J37/22H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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