Method for operating a multiple particle beam system, calibration method for a multiple particle beam system, computer program product and multiple particle beam system with increased performance
WO2025067692
Art A1
3. April 2025
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025067692
- Aktenzeichen
- EP24776494
- Anmeldetag
- 13. September 2024
- Veröffentlichung
- 3. April 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/21H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
-
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen