High-resolution low-distortion imaging using charged-particle scanning microscope

WO2025068172 Art A1 3. April 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025068172
Aktenzeichen: EP24776920
Anmeldetag: 24. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06V10/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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