Abbildung von Vier Elektronenstrahlmengen Während Werkstückinspektion
WO2025071904
Art A1
3. April 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025071904
- Aktenzeichen
- EP24873294
- Anmeldetag
- 10. September 2024
- Veröffentlichung
- 3. April 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/04H01J37/06H01J37/10H01J37/22H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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