Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
WO2025072229
Art A1
3. April 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025072229
- Aktenzeichen
- EP24873434
- Anmeldetag
- 25. September 2024
- Veröffentlichung
- 3. April 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95G01N23/2251G03F7/00G06T7/00G06T7/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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