Be- und Entladezyklus für ein Cvd-Reaktorsystem

WO2025083109 Art A2 24. April 2025

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025083109
Aktenzeichen: EP24793771
Anmeldetag: 17. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/673H01L21/677H01L21/687C23C16/44C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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