Compensation of operationally induced thermal deformations in the manufacturing process of an optical element under thermal control during operation

WO2025093552 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025093552
Aktenzeichen: EP24799194
Anmeldetag: 29. Oktober 2024
Veröffentlichung: 8. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B29D11/00G02B7/02G02B27/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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