Verfahren zum Herstellen einer Mikrooptik für ein Vielzahl-Teilchenstrahlsystem, Mikrooptik und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem
WO2025113824
Art A1
5. Juni 2025
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025113824
- Aktenzeichen
- EP24820258
- Anmeldetag
- 29. November 2024
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
-
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen