Axcelis Technologies
🇺🇸 USA aktiv
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Patente
377 gesamt| Patent | |||
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05.02.2026
Ion stripping apparatus with integrated quadrupoles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.08.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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29.01.2026
Rf resonator with high q value for ion beam accleleration
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 22.07.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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02.01.2026
Direct voltage control of a clamping surface of an electrostatic clamp
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Status
Angemeldet am 27.06.2025
Anhängig
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20.11.2025
Dual force lift and ground pins for electrostatic chuck and method for use thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.05.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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06.11.2025
Improved energy accuracy for an rf linear accelerator ion implantation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.04.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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30.10.2025
High aspect ratio beam dump or faraday cup with neutron radiation shielding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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16.10.2025
Granular sputter source target with repeller cup and method for use thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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25.09.2025
Method and apparatus for ion beam directional deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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18.09.2025
Method, system and apparatus for teaching and verifying end station
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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04.09.2025
Variable vent pressure and flow for flushing loadlock chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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