Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung optischer Elemente

EP1221496 Art A1 10. Juli 2002

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1221496
Aktenzeichen: EP01130783
Anmeldetag: 22. Dezember 2001
Veröffentlichung: 10. Juli 2002
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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