Reflexionsminderungsbeschichtung für Ultraviolettlicht

EP1223437 Art A3 11. Juni 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1223437
Aktenzeichen: EP01130830
Anmeldetag: 27. Dezember 2001
Veröffentlichung: 11. Juni 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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