Optisches Strahlführungssystem und Verfahren zur Kontaminationsverhinderung optischer Komponenten hiervon

EP1235110 Art A3 18. Februar 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1235110
Aktenzeichen: EP02000932
Anmeldetag: 16. Januar 2002
Veröffentlichung: 18. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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