Polarisations-Kompensator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisations-Kompensator

EP1260849 Art B1 8. Dezember 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1260849
Aktenzeichen: EP02009642
Anmeldetag: 27. April 2002
Veröffentlichung: 8. Dezember 2004
Erteilung: 8. Dezember 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/28G03F7/20G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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