Geometrischer Strahlteiler und Verfahren zu seiner Herstellung

EP1278094 Art B1 5. Oktober 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1278094
Aktenzeichen: EP02015747
Anmeldetag: 13. Juli 2002
Veröffentlichung: 5. Oktober 2005
Erteilung: 5. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/14C23C14/56C23C14/22

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von