Zoom-System für eine Beleuchtungseinrichtung

EP1291720 Art B1 21. Juni 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1291720
Aktenzeichen: EP02018978
Anmeldetag: 27. August 2002
Veröffentlichung: 21. Juni 2006
Erteilung: 21. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B15/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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