Sensor zur Strahlungsenergiebestimmung und Verwendung hierfür

EP1405144 Art A1 7. April 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1405144
Aktenzeichen: EP02751097
Anmeldetag: 2. Juli 2002
Veröffentlichung: 7. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J1/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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