Verzögerungselement aus Kubischem Kristall und Optische Systeme damit

EP1407299 Art A1 14. April 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1407299
Aktenzeichen: EP02752986
Anmeldetag: 25. Juni 2002
Veröffentlichung: 14. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/30G02B1/02G02B1/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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