Reflektives Roentgenmikroskop zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlaengen = 100NM in Reflexion

EP1446813 Art B1 10. November 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss SMS GmbH, Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 🇩🇪

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss SMS GmbH
Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

Elektrische Energietechnik

Vertreten von

Müller, Utz Jena, Deutschland

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Optik & Fototechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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