Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100nm
EP1455365
Art A3
17. Dezember 2014
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH, Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1455365
- Aktenzeichen
- EP04013866
- Anmeldetag
- 8. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K7/00G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Müller, Utz
Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
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2
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Weitere Vertreter
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Sawodny, Michael-Wolfgang
Sawodny Patentanwalt · Ulm
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Dr. Weitzel & Partner
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim