Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100nm

EP1455365 Art A3 17. Dezember 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH, Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 🇩🇪

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

Elektrische Energietechnik

Vertreten von

Müller, Utz Jena, Deutschland

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Optik & Fototechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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