Verfahren und Vorrichtung zur Dekontamination Optischer Oberflächen

EP1483063 Art B1 4. Oktober 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1483063
Aktenzeichen: EP03718683
Anmeldetag: 11. März 2003
Veröffentlichung: 4. Oktober 2006
Erteilung: 4. Oktober 2006
Rechtsraum: EP
IPC: B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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