Moire-Verfahren und Messsystem zur Messung der Verzerrung eines Optischen Abbildungssystems

EP1483559 Art A2 8. Dezember 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1483559
Aktenzeichen: EP03708183
Anmeldetag: 6. März 2003
Veröffentlichung: 8. Dezember 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von