Interferometrische Messvorrichtung und Projektionsbelichtungsanlage mit Derartiger Messvorrichtung

EP1495369 Art A2 12. Januar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1495369
Aktenzeichen: EP03718735
Anmeldetag: 5. April 2003
Veröffentlichung: 12. Januar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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