Verfahren zur Bestimmung von Wellenfrontaberrationen

EP1508073 Art A2 23. Februar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1508073
Aktenzeichen
EP03737967
Anmeldetag
20. Mai 2003
Veröffentlichung
23. Februar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G01M11/02G02B27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Ruff, Michael Stuttgart, Deutschland
78
Patente gesamt
24
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Textiltechnik Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Verpackungs- & Fördertechnik Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
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