Katadioptrisches Projektionsobjektiv

EP1523692 Art A2 20. April 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1523692
Aktenzeichen: EP03765012
Anmeldetag: 17. Juli 2003
Veröffentlichung: 20. April 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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