Katadioptrisches Reduktionsobjektiv mit Polarisierendem Strahlteiler

EP1530737 Art A1 18. Mai 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1530737
Aktenzeichen: EP02785148
Anmeldetag: 2. Oktober 2002
Veröffentlichung: 18. Mai 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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