Optisches Abbildungssystem, insbesondere Katadioptrisches Reduktionsobjektiv

EP1532490 Art B1 4. April 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1532490
Aktenzeichen: EP03794908
Anmeldetag: 21. August 2003
Veröffentlichung: 4. April 2012
Erteilung: 4. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B17/08G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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