Messverfahren und Messsystem zur Vermessung der Abbildungsqualität eines Optischen Abbildungssystems

EP1573401 Art A1 14. September 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1573401
Aktenzeichen: EP02798349
Anmeldetag: 19. Dezember 2002
Veröffentlichung: 14. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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