Belichtungsverfahren sowie Projektions-Belichtungssystem zur Ausführung des Verfahrens

EP1668420 Art B1 21. Mai 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1668420
Aktenzeichen: EP03808273
Anmeldetag: 29. Oktober 2003
Veröffentlichung: 21. Mai 2008
Erteilung: 21. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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