Projektionsobjektiv mit einer Hohen Apertur und einer Planarendoberfläche
EP1697798
Art A2
6. September 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1697798
- Aktenzeichen
- EP04803712
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 6. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ruff, Michael
Stuttgart, Deutschland
78
Patente gesamt
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8
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