Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP1730596 Art B1 16. Februar 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1730596
Aktenzeichen: EP05716194
Anmeldetag: 18. März 2005
Veröffentlichung: 16. Februar 2011
Erteilung: 16. Februar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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