Projektionssystem mit Kompensation von Intensitätsschwankungen und Kompensationselement dafür

EP1759248 Art A1 7. März 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1759248
Aktenzeichen: EP05746777
Anmeldetag: 3. Juni 2005
Veröffentlichung: 7. März 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/28G02B27/58G02B21/33G02B13/02G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von