Katadioptrisches Projektionsobjektiv

EP1771771 Art B1 30. Dezember 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1771771
Aktenzeichen: EP05785351
Anmeldetag: 8. Juli 2005
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Erteilung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B17/00G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von