Katadioptrisches Abbildungssystem mit Strahlteiler

EP1837695 Art A1 26. September 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1837695
Aktenzeichen: EP06005813
Anmeldetag: 22. März 2006
Veröffentlichung: 26. September 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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