Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit Zwischenbildern

EP1844365 Art A1 17. Oktober 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1844365
Aktenzeichen: EP06704356
Anmeldetag: 28. Januar 2006
Veröffentlichung: 17. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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