Verfahren und Vorrichtungen zur Messung von Wellenfronten und der Bestimmung von Streulicht und Diesbezügliche Einrichtungen und Herstellungsverfahren

EP1869420 Art A1 26. Dezember 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1869420
Aktenzeichen: EP06707600
Anmeldetag: 17. März 2006
Veröffentlichung: 26. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01J9/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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