Optischer Streudatenträger, Verwendung dafür und Wellenfront-Messvorrichtung

EP1883841 Art A1 6. Februar 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1883841
Aktenzeichen: EP06743023
Anmeldetag: 23. Mai 2006
Veröffentlichung: 6. Februar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/02G03F7/20G02B3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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